您的位置： 专家智库 > >

福建省科技计划项目(2010A6025)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：冯勇建俞龙发更多>>
相关机构：厦门大学更多>>
发文基金：福建省科技计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇扩散
  • 1篇键合
  • 1篇光刻

机构

  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇俞龙发
  • 1篇冯勇建

传媒

  • 1篇仪表技术

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
微型真空传感器制作工艺的研究被引量：1
2011年
介绍微型真空传感器制作工艺的流程,阐述了清洗、氧化、光刻、腐蚀、扩散、键合等工艺的方法和特点,分析了制作工艺过程中出现的问题并提出解决的方法,最后对制作工艺进行总结。
俞龙发冯勇建
关键词：光刻扩散键合
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0