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湖北省科技攻关计划(2002AA105A02)

作品数：30 被引量：110H指数：6
相关作者：汪建华王升高满卫东王传新马志斌更多>>
相关机构：武汉工程大学武汉化工学院中国科学院等离子体物理研究所更多>>
发文基金：湖北省科技攻关计划湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目武汉市青年科技晨光计划更多>>
相关领域：理学一般工业技术化学工程金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 30篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 13篇理学
  • 8篇一般工业技术
  • 6篇化学工程
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇轻工技术与工...
  • 2篇冶金工程
  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 16篇金刚石薄膜
  • 10篇化学气相
  • 10篇化学气相沉积
  • 7篇硬质合金
  • 6篇金刚石
  • 6篇金刚石膜
  • 6篇刚石
  • 5篇硬质
  • 5篇气相沉积
  • 5篇合金
  • 4篇微波等离子体
  • 4篇刻蚀
  • 4篇附着力
  • 3篇刀具
  • 3篇等离子体
  • 3篇热丝
  • 3篇热丝化学气相...
  • 3篇甲醇
  • 3篇溅射
  • 3篇溅射法

机构

  • 20篇武汉工程大学
  • 9篇武汉化工学院
  • 6篇中国科学院等...
  • 2篇湖北省等离子...
  • 2篇自贡硬质合金...
  • 1篇武汉理工大学

作者

  • 29篇汪建华
  • 16篇王升高
  • 16篇王传新
  • 15篇满卫东
  • 12篇马志斌
  • 7篇邢文娟
  • 6篇熊礼威
  • 5篇康志成
  • 4篇耿茜
  • 3篇余军杰
  • 3篇曹菊琴
  • 3篇谢鹏
  • 3篇皮华滨
  • 3篇熊军
  • 3篇严朝辉
  • 2篇万军
  • 2篇李克林
  • 2篇陈宁
  • 1篇陈文进
  • 1篇吴斌

传媒

  • 5篇金刚石与磨料...
  • 4篇武汉化工学院...
  • 3篇应用化工
  • 3篇武汉工程大学...
  • 2篇工具技术
  • 2篇材料导报
  • 2篇人工晶体学报
  • 2篇硬质合金
  • 1篇无机化学学报
  • 1篇染整技术
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇高压物理学报
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇辽宁石油化工...

年份

  • 4篇2008
  • 9篇2007
  • 10篇2006
  • 1篇2005
  • 4篇2004
  • 3篇2003
共 30 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微波CVD法低温制备纳米金刚石薄膜被引量：6
2006年
利用甲醇和氢气的混合气体，用微波等离子体CVD方法在480℃下成功地在硅片表面制备出纳米金刚石薄膜，本文研究了甲醇浓度和沉积温度对金刚石膜形貌的影响．通过Raman光谱、原子力显微镜及扫描隧道显微镜对样品的晶粒尺寸及质量进行了表征．研究结果表明：通过提高甲醇浓度和降低沉积温度可以在直径为50mm的硅片表面沉积高质量的纳米金刚石薄膜，晶粒尺寸大约为10～20nm，并对低温下沉积高质量的纳米金刚石薄膜的机理进行了讨论．
满卫东汪建华王传新马志斌王升高熊礼威
关键词：纳米金刚石微波化学气相沉积甲醇
脉冲电弧放电电离甲醇溶液制备碳膜的研究被引量：4
2003年
利用脉冲电弧放电电离甲醇溶液在常压下研究了含金刚石成分的碳膜的制备。用扫描电子显微镜(SEM)、傅里叶红外光谱(FT-IR)、激光Raman光谱和X射线衍射(XRD)研究了在确定的基片温度下甲醇浓度以及放电电压等沉积条件对薄膜的形貌和金刚石的合成的影响。研究结果表明:在放电电压低于2kV时,薄膜主要由无序石墨和无定形碳组成。提高放电电压有助于金刚石的合成,在高的放电电压下,降低甲醇溶液浓度有利于提高碳膜中金刚石成分的含量。
马志斌万军张文文汪建华王升高
关键词：电离碳膜金刚石薄膜石墨
硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响被引量：3
2004年
以WC 6 %Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜。研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响。结果表明 ,在 70 0℃左右的低温碳化 ,TiC结构致密 ,而在 85 0℃左右的高温碳化 ,TiC呈疏松的多孔组织 ,在CH4 Ar等离子体中碳化则 85 0℃左右仍能获得致密的TiC层。
王传新汪建华满卫东马志斌王升高傅朝坤李克林康志成
关键词：脱碳磁控溅射法金刚石薄膜氢等离子体过渡层
用氢气／甲醇混合气体在微波等离子体CVD中合成纳米晶粒金刚石膜(英文)被引量：9
2006年
用微波等离子体增强化学气相沉积方法(MPECVD),利用氢气和甲醇的混合气体,在硅片上沉积出纳米晶粒的金刚石薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)及扫描隧道显微镜(STM)对薄膜的晶粒平面平整性及纯度进行了表征。通过SEM发现,提高甲醇浓度或降低沉积温度可以减小金刚石膜的晶粒尺寸。拉曼光谱显示薄膜中确实存在纳米晶粒的金刚石,并且薄膜的主要成分为金刚石。用AFM测得薄膜表面的粗糙度Rms<80nm,STM观测晶粒的平均尺寸在10-20nm之间。研究结果表明,用MPECVD方法,利用氢气和甲醇的混合气体是制备纳米晶粒金刚石膜的一种理想方法。
满卫东江建华王传新马志斌王升高熊礼威
关键词：纳米晶粒金刚石膜化学气相沉积
微型硬质合金钻头上金刚石涂层研究被引量：6
2007年
WC-Co硬质合金钻头经过短时间酸腐蚀和微波等离子体硼氮化处理后,利用热丝CVD方法生长金刚石薄膜,并在电路板和玻璃板上进行了附着力测试。研究表明:钻头垂直于热丝放置,钻头端部为最高硬度的(111)面,有利于改善钻头切削加工性能;短时间酸腐蚀只去掉了钻头表面的钴,不降低表面硬度。同时酸腐蚀手段提高了表面粗糙度,避免了在随后的硼氮化处理时在WC表层形成低附着力的硼化物层,提高了金刚石薄膜附着力。在电路板及玻璃板上钻孔的测试结果表明,金刚石薄膜涂层钻头具有更高的寿命。
邢文娟王升高陈宁汪建华王传新吴雪梅
关键词：金刚石薄膜硬质合金钻头附着力
稳压微波电源的MATLAB仿真应用
2006年
介绍了一种对微波电源进行稳压的方法.通过使用MATLAB/Simulink、电力系统模块库(Sim Power Systems)和仿真响应优化(Simulink Response Optimization)工具箱来构建了微波电源的完整仿真模型,并对控制参数进行了优化.具体介绍了脉宽可控子系统的构成.仿真结果表明微波电源的输出电压是很稳定的.
陈文进汪建华秦道东张琳
关键词：电源仿真模型
热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜的生长取向及内应力研究
采用热丝化学气相沉积法在YG6硬质合金基体上制备出了金刚石薄膜,研究了基片与热丝间的距离以及负偏压对金刚石薄膜的生长取向和内应力的影响。采用扫描电子显微镜对沉积得到的金刚石薄膜的生长取向进行了表征,利用激光Raman光谱...
邢文娟汪建华王传新
关键词：热丝化学气相沉积金刚石薄膜内应力
文献传递
CVD金刚石厚膜的机械抛光研究被引量：19
2007年
化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜表面粗糙且厚薄不均匀,在许多情况下不能直接使用,必须对其进行抛光。本文研究了不同型号的金刚石微粉对CVD金刚石厚膜研磨的影响,通过对研磨结果的比较分析,优化出一种高质量高效率的抛光方法,即先采用W40和W28金刚石微粉,分别研磨2 h,然后用W0.5金刚石微粉研磨4 h。经扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)测试分析表明:金刚石膜的平均去除率为12.2μm/h,粗糙度Ra由4.60μm降至3.06 nm,说明该抛光方法能实现金刚石膜高质量、高效率的抛光。
严朝辉汪建华满卫东熊军
关键词：CVD金刚石膜研磨抛光
采用WC过渡层增加金刚石薄膜附着力的研究被引量：11
2003年
在微波等离子体化学气相沉积装置中 ,以WC -8%Co为基体 ,采用氢等离子体脱碳、磁控溅射镀W、碳化等方法 ,制备了微晶WC过渡层。研究了金刚石薄膜与基体的附着力。结果表明 ,表面脱碳后再镀W膜 ,W填充了氢等离子体脱碳时刀具表面因钴蒸发而留下的空洞 ,形成过渡层 ,在随后的碳化中和基体WC连接较为紧密 ,能增加金刚石薄膜与基体附着力 ,克服单纯的氢等离子体脱碳还原法降低刀具基体硬度。
王传新汪建华满卫东马志斌王升高康志成
关键词：硬质合金微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜
甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长的影响被引量：3
2006年
以H2和CH4的混合气体为气源,用微波等离子体辅助化学气相沉积法(MPECVD)在1 cm×1 cm S i(100)基体上沉积了金刚石薄膜。研究了不同的甲烷浓度对金刚石薄膜(100)织构生长趋势的影响。分别采用扫描电子显微镜(SEM),Ram an光谱对金刚石膜的表面形貌、质量进行了分析。结果表明,当基体温度为750℃,气压为4.8×103Pa,甲烷浓度为1.4%时,薄膜表面为(100)织构。
曹菊琴汪建华满卫东熊礼威卫应亮
关键词：金刚石薄膜
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