国家自然科学基金(40174049)
- 作品数：3 被引量：54H指数：2
- 相关作者：邵成刚许厚泽罗俊郑伟刘云峰更多>>
- 相关机构：华中科技大学中国科学院清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国航空科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：天文地球理学机械工程更多>>
- 基于卫-卫跟踪观测技术利用能量守恒法恢复地球重力场的数值模拟研究被引量：47
- 2006年
- 根据卫-卫跟踪观测技术的测量原理,基于能量守恒法建立了一种新的双星相互跟踪和三星相互跟踪的卫星观测方程.通过数值模拟,采用预处理共轭梯度法恢复120阶地球重力场.模拟结果表明:第一,双星相互跟踪恢复地球重力场的精度和美国喷气动力实验室公布的EIGEN-GRACE02S的结果相符合;第二,三星相互跟踪恢复地球重力场的精度较双星提高约2倍.
- 郑伟邵成刚罗俊许厚泽
- 关键词：地球重力场GRACE卫星卫-卫跟踪
- 微静电陀螺仪的结构设计与工艺实现被引量：1
- 2011年
- 为了探索微机械陀螺突破精度极限的新途径,设计了一种基于环形转子、体硅加工工艺、转子5自由度悬浮的硅微静电陀螺仪.采用玻璃-硅-玻璃键合的三明治式微陀螺结构,提出了包括双边光刻、反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀、玻-硅静电键合、硅片减薄、多层金属溅射等关键工艺的加工路线.在工艺设计中采用铝牺牲层对转子进行约束,在第2次玻-硅键合后再通过湿法去除牺牲层,以得到可自由活动的转子.基于提出的体硅工艺路线,成功加工出了微陀螺敏感结构,并完成了转子5自由度悬浮和加转实验,测试结果表明大气环境下转子转速可达73.3 r/min.
- 王嫘韩丰田董景新刘云峰
- 关键词：体硅工艺
