江苏省教育厅自然科学基金(04KJD430011)
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
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- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 高能束在气相沉积超硬薄膜材料中的应用
- 2006年
- 在新型薄膜材料的制备中,利用高能量密度的激光束、离子束等作为热源,辅助和诱导气相反应制备薄膜材料,克服了普通化学气相沉积和物理气相沉积超硬薄膜材料性能上的不足,显著地提高了薄膜的沉积效果。
- 葛柏青段来根于波
- 关键词：高能束气相沉积
- 高能束在气相沉积超硬薄膜材料中的应用被引量：1
- 2006年
- 在材料表面工程技术中应用高能束流是先进制造技术的一个重要发展方向,它具有常规加工方法无可比拟的特点。在新型薄膜材料的制备中,利用高能量密度的激光束、离子束等作为热源,辅助和诱导气相反应制备薄膜材料,克服了普通化学气相沉积和物理气相沉积超硬薄膜材料性能上的不足,显著地提高了薄膜的沉积效果。
- 葛柏青段来根于波
- 关键词：高能束气相沉积
- 模具钢表面连续激光沉积TiN类薄膜的研究被引量：1
- 2006年
- 利用波长为10.6mm的CO2连续激光诱导化学气相沉积的方法,在模具钢基体上沉积TiN类薄膜。采用XRD、OM、SEM、EDS等手段分析薄膜的组织和相结构。结果表明,当激光功率为600W,扫描速度为2mm/s,通过H2、N2和TiCl4之间的化学反应,在模具钢表面获得了均匀致密的枝晶组织,其显微硬度最高可达2500HV。
- 葛柏青段来根
- 关键词：模具钢激光化学气相沉积
- 模具钢表面连续激光沉积TiN类薄膜的研究被引量：1
- 2006年
- 利用波长为10.6μm的CO2连续激光诱导化学气相沉积的方法,在模具钢基体上沉积TiN类薄膜。采用XRD、OM、SEM、EDS等手段分析薄膜的组织和相结构。实验表明,当激光功率为600W,扫描速度为2mm/s,通过H2、N2和TiCl4之间的化学反应,在模具钢表面获得了均匀致密的枝晶组织,其显微硬度最高可达2500HV。
- 葛柏青段来根郎荣兴
- 关键词：模具钢激光化学气相沉积
- 高能束在气相沉积超硬薄膜材料中的应用
- 2006年
- 在新型薄膜材料的制备中,利用高能量密度的激光束、离子束等作为热源,辅助和诱导气相反应制备薄膜材料,克服了普通化学气相沉积和物理气相沉积超硬薄膜材料性能上的不足,显著地提高了薄膜的沉积效果。
- 葛柏青段来根于波
- 关键词：高能束气相沉积
