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教育部科学技术研究重点项目(309027)
作品数:
1
被引量:8
H指数:1
相关作者:
孙惠娜
高美珍
刘静
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相关机构:
兰州大学
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发文基金:
教育部科学技术研究重点项目
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相关领域:
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刘静
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高美珍
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孙惠娜
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功能材料与器...
年份
1篇
2010
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溶胶-凝胶法制备ZnO:Sn(TZO)薄膜
被引量:8
2010年
以普通玻璃为衬底,采用溶胶-凝胶旋涂法制备出c轴择优取向性、高可见光透过率以及低电阻率的ZnO:Sn(TZO)薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、四探针及紫外-可见分光光度计(UV-VIS)等手段,研究了不同Sn掺杂浓度对薄膜的晶体结构、表面形貌、电学和光学特性的影响。实验结果表明,在500℃的空气中热处理,然后在低温环境快速冷却,得到的TZO薄膜均具有六角纤锌矿结构,且呈c轴择优取向,薄膜在可见光范围内平均透光率超过90%,同时当Sn掺杂浓度为3 at.%时,薄膜的电阻率达到最小值8.2×10-1Ω.cm。
孙惠娜
刘静
高美珍
关键词:
溶胶-凝胶法
光电特性
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