国家自然科学基金(50905173)
- 作品数：3 被引量：5H指数：2
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- 相关机构：中国科学技术大学更多>>
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- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 多次提拉法涂胶工艺及其过程仿真被引量：2
- 2015年
- 为在圆柱基底上制备一定厚度的均匀光刻胶膜层,进行了提拉法涂胶试验,并结合试验建立了数值模型,模拟仿真了不同工况下的液膜轮廓,仿真计算得到的膜厚与试验结果有很好的一致性。仿真计算与试验结果表明,其提接速度越快,胶层厚度越大,膜层厚度均匀性随速度的增大而变差。膜层厚度与均匀性的这种变化特征使单次提拉法的应用范围有很大的局限性。针对此问题,进一步研究了多次提拉法涂胶,并在圆柱体基底上得到了较厚且较均匀的胶膜层。
- 张琼李木军沈连婠叶回春谢俊舰
- 关键词：膜厚均匀性数值仿真
- 提拉法涂胶膜厚均匀性研究被引量：2
- 2016年
- 针对提拉法涂胶工艺中膜厚的均匀性较难控制,影响因素很多的情况。利用流体计算软件Fluent对提拉法涂胶的整个提拉过程进行仿真,同时结合提拉法涂胶实验,探究影响液膜均匀性的2个重要因素:提拉速度和静置时间。仿真结果和实验结果均表明,提拉速度越大,液膜均匀性越差;圆柱基底放入烘箱前,在空气中放置时间越短,膜厚均匀性越好。这对优化提拉法涂胶工艺,提升膜厚均匀性均有重要的意义。
- 谢俊舰李木军沈连婠黄胜洲
- 关键词：数值仿真
- 基于ABAQUS的微结构滚压印仿真被引量：1
- 2012年
- 借助有限元软件ABAQUS,对滚动热压印成型过程进行二维仿真。聚合物材料采用PM-MA的理想弹塑性模型,以图形面积的复制率、图形的最大宽度和最大深度为评定判据,详细分析了滚子与聚合物表面距离、图案大小、图案占空比、滚子的滚动速度、聚合物弹性模量对压印图形质量及压印力的影响。仿真计算结果表明,滚子与聚合物的距离、图案占空比、聚合物的弹性模量对压印图形的质量影响较大,而滚子滚动速度以及图案大小对压印图形的质量影响较小;同时,滚子与聚合物距离、聚合物弹性模量、图案大小对压印力的影响较大,反之,其他的情况基本可以忽略。
- 刘阳沈连婠叶回春李木军
- 关键词：ABAQUS有限元仿真PMMA
