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中央高校基本科研业务费专项资金(JUDCF1003)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
刘迪
顾晓峰
陆坚
梁海莲
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相关机构:
中国电子科技集团第五十八研究所
教育部
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
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刘迪
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1篇
2012
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基于SIFT技术的集成电路失效缺陷分析
被引量:3
2012年
激励源诱导故障测试(SIFT)是一种新型的失效定位技术,可用于集成电路和分立器件中漏电、击穿、短路等失效点的定位及失效机理的分析。在介绍SIFT技术工作原理的基础上,利用该技术进行了六反相器电路的深埋层缺陷、收发器电路中电源与地之间漏电流失效和串行输出模数转换电路MOS器件欧姆短路的定位,并结合微结构观测分析了失效原因。研究结果表明,SIFT技术能有效分析光发射显微镜(EMMI)和激光光束诱导阻抗变化测试(OBIRCH)技术较难定位的缺陷,弥补了这些常规失效分析技术的不足。
刘迪
顾晓峰
陆坚
梁海莲
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