国家高技术研究发展计划(2002AA812038)
- 作品数:34 被引量:228H指数:8
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- 相关机构:东南大学江南大学潍坊学院更多>>
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- 硅微机械谐振陀螺仪结构优化设计被引量:1
- 2006年
- 介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,给出了陀螺仪标度因数的表达式,分析了陀螺仪驱动模态的最大振幅、陀螺质量块结构参数、杠杆、DETF结构参数对标度因数的影响,优化了结构设计。利用有限元分析软件ANSYS对陀螺仪的结构进行了仿真,并制作了原理样机。
- 盛平王寿荣许宜申
- 关键词:陀螺标度因数结构优化
- 提高硅微谐振系统性能的一项有效措施被引量:1
- 2006年
- 介绍了硅微谐振器系统的工作原理,重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现。详细分析了AD9954作为智能精密驱动源的粗细搜索两种阶段工作流程并给出与DSP器件的数字接口技术。结合实验数据和扫频曲线,得出在不同真空度环境下谐振器的两种扫频结果,并对谐振系统的工作情况给予评价。
- 夏敦柱王寿荣周百令
- 关键词:AD9954
- 微机械振动式陀螺仪寄生效应的处理
- 2006年
- 基于微机械陀螺仪的寄生效应产生原理,借助于陀螺仪的系统函数,分析了寄生效应对系统频率响应的影响。对频率响应实部和虚部的处理,可以得到寄生电容和寄生电阻等一些关键参数值。通过数字滤波的方法可以减少寄生效应的影响。
- 吉训生王寿荣
- 关键词:陀螺仪寄生效应频率响应
- 硅微陀螺梳齿驱动的面内失准分析被引量:1
- 2006年
- 静电梳齿微驱动器因其结构简单、功耗低、灵敏度高、受温度影响小,成为硅微陀螺仪的主要驱动方式。静电梳齿微驱动器通常由活动梳齿和固定梳齿组成。理想情况下,活动梳齿平行地位于两固定梳齿中心位置。但由于加工误差、驱动结构不对称、扰动等因素,使得活动梳齿相对固定梳齿发生偏转。该文应用能量法及虚功原理,建立了梳齿之间的力与力矩平衡方程。得出了非理想情况下,偏离距离和转角的解析表达式,并分析得出了梳齿间的临界电压。经过数值仿真发现,梳齿面内既偏转又转动时的临界电压小于只发生偏转或转动时的临界电压。
- 刘梅周百令
- 关键词:临界电压能量法虚功原理
- 硅微z轴谐振陀螺仪负电刚度效应分析及实验验证被引量:1
- 2007年
- 介绍了在开环工作状态下硅微z轴谐振陀螺仪由于加工工艺缺陷所导致的误差机理。为减小陀螺仪初始电容差和抑制正交耦合误差,提出了一种闭环控制检测策略。重点分析了其力矩反馈器的电刚度效应并给出其线性数学模型表示式。通过对硅微z轴陀螺仪敏感模态的反馈力与谐振频率的关系分析,间接得出了在敏感方向上电负刚度与力矩器所施电压的内在联系,并在实验上进一步验证电刚度效应。这将为下一步闭环控制方案的设计奠定重要基础。
- 夏敦柱周百令王寿荣
- 关键词:微机电系统
- 小波变换在MEMS陀螺仪去噪声中的应用被引量:22
- 2006年
- 在介绍小波分析理论的基础上,本文采用双正交静态小波基对陀螺仪去漂后的残差信号进行不同尺度的分解。通过不同小波基滤波效果的比较,发现双正交样条小波具有较好的去噪性,其分解和重建滤波器系数也十分简单,验证了小波变换在陀螺仪测漂信号去噪中的可行性。
- 吉训生王寿荣
- 关键词:小波变换滤波器组陀螺漂移多分辨率分析
- 硅微机械陀螺仪的机电接口模型分析被引量:4
- 2005年
- 建立了某种硅微机械陀螺仪的电路模型,分析了寄生电容对接口电路的影响。结果表明,合理的接口电路不仅消除了大部分的寄生电容的影响,而且减小了信号的衰减幅度,抑制了大部分的耦合信号和噪声信号。最后对接口电路进行了改进,除了保留以上的一些优点外,还减小了载波信号的变化和电源变化对电容分辨率的影响,提高了整个电路的分辨率。
- 杨波苏岩施芹周百令
- 关键词:硅微机械陀螺仪寄生电容分辨率
- 微机械振动陀螺仪闭环驱动电路分析与设计被引量:10
- 2006年
- 为了提高微机械振动陀螺仪输出信号的灵敏度,通常要求驱动信号频率与陀螺仪驱动模态的谐振频率相匹配,且驱动信号幅值稳定。驱动电压信号要满足这些要求,必须采用闭环驱动方式。完整地推导了闭环驱动电路的内在机理,探讨了自激振荡与锁相环两种实现方式,并给出了具体的电路原理框图。
- 许宜申王寿荣盛平吉训生
- 关键词:自激振荡锁相环
- 基于锁相解调的硅微谐振陀螺检测电路研究
- 2009年
- 给出一种硅微谐振式陀螺仪的结构,分析双端音叉谐振器(DETF)振动稳态信号的特性,研究其频谱分布。当调制系数β1时,可从稳态振动信号ωr0+ωnx频率分量中提取被测信号信息。设计一种基于锁相环(PLL)解调的硅微谐振陀螺检测电路方案,分析其解调原理,并利用Matlab进行仿真,结果验证了方案的可行性。
- 盛平王寿荣殷勇
- 关键词:陀螺仪谐振锁相环解调
- 硅微机械谐振式陀螺仪的技术研究被引量:6
- 2006年
- 介绍了硅微机械谐振式陀螺仪的工作原理,设计了一种新型微机械谐振式陀螺,并用有限元方法进行了仿真,制造了一批样机,进行了初步的驱动特性实验。结果表明,该微机械谐振陀螺仪实际驱动模态的谐振频率与仿真值的最大误差小于6%,满足设计要求。
- 盛平王寿荣许宜申
- 关键词:陀螺