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中国科学院微电子研究所所长基金(O8SB034002)

作品数:1 被引量:3H指数:1
相关作者:徐静波张海英付晓君更多>>
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发文基金:中国科学院微电子研究所所长基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电学
  • 1篇氧化锌
  • 1篇退火
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米线
  • 1篇晶体管
  • 1篇背栅
  • 1篇场效应
  • 1篇场效应晶体管

机构

  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 1篇付晓君
  • 1篇张海英
  • 1篇徐静波

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2011
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
氧化锌纳米线晶体管的电学特性研究被引量:3
2011年
成功制作了氧化锌纳米线沟道场效应晶体管器件,所制作器件的电学性能通过I-V测试进行了分析。使用了水浴法生长了单晶性完整的氧化锌纳米线,该纳米线被用作背栅场效应晶体管的沟道,采用光刻方式制备的器件具有良好的直流特性,进行退火后进一步改善器件的源漏接触,提高器件性能,最终制备成功的场效应晶体管显示出p型MOS的特性,其开关态电流比达到105。在Vds=2.5 V时,跨导峰值为0.4μS,栅氧电容约为0.9 fF,器件夹断电压Vth为0.6 V,沟道迁移率约为87.1 cm2/V.s,计算得到氧化锌纳米线载流子浓度ne=6.8×108 cm-3。在Vgs=0 V时,器件沟道电阻率为100Ω.cm。
付晓君张海英徐静波
关键词:氧化锌纳米线场效应晶体管背栅退火
共1页<1>
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