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北京市教委资助项目(04000107005)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：陈强边心超张跃飞霍纯青更多>>
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相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇性能研究
  • 1篇石墨
  • 1篇金刚石薄膜

机构

  • 1篇北京印刷学院

作者

  • 1篇霍纯青
  • 1篇张跃飞
  • 1篇边心超
  • 1篇陈强

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
空心阴极放电制备金刚石薄膜及其性能研究被引量：1
2007年
以石墨为电极,Ar气为辅助气体,利用空心阴极等离子体放电在载玻片上成功地制备了无氢类金刚石(DLC,diamond-like carbon)薄膜。通过激光拉曼(Raman)光谱分析了所制备DLC薄膜的结构;利用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌;通过表面轮廓仪测量了薄膜的沉积速率;另外,试验中还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。试验结果表明,制备的DLC薄膜比较致密均匀,粗糙度为8.1nm,有较好的耐磨性能。
边心超张跃飞霍纯青陈强
关键词：石墨
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