国防科技重点实验室基金(9140C1406020708)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
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- 激光辐照下GaAs表面腐蚀液滴自然浸润过程及其边缘刻蚀特性被引量：1
- 2007年
- 研究了激光辐照下GaAs表面酸性腐蚀液滴的浸润及其腐蚀特性,实验获得了激光辐照下H_2SO_4-H_2O_2液滴在GaAs表面的浸润过程以及液滴边缘方位、晶体取向等差异对GaAs半导体表面刻蚀效果的影响,得到了有价值的结论。实验结果表明,腐蚀液液滴在GaAs表面随着时间向外扩散,腐蚀现象由中心向四周逐渐减弱,并在边缘部分出现不完全腐蚀现象;通过对同一液滴的不同位置的边缘进行观察发现液滴边缘的腐蚀图样不完全相同,由于晶体的各向异性使腐蚀图样具有明显的方向性,此结论对半导体器件的加工工艺起着重要的理论补充作用。
- 田骁叶玉堂刘霖陈镇龙罗颖王昱琳
- 关键词：GAAS刻蚀
- 利用线性液膜的红外热像测定YBCO的湿法化学刻蚀启动时长
- 2007年
- 提出了一种测定YBCO（YBa2Cu3O7-x）高温超导薄膜湿法腐蚀启动时长的红外热像新方法。该方法的实质是利用YBCO腐蚀时必然有化学热吸收或释放,从而引起YBCO表面液膜温度变化这一特点,通过红外热像实时监测系统,采集液膜温度变化过程的红外热像,从而判断反应启动时长。理论分析和实验结果均表明,YBCO表面2 mm宽线性液膜是较为理想的监测对象,因其同时具备温度变化信息和空间分布信息,可以将线性液膜中心作为理想的观测特征点;由滑动腐蚀液滴形成残留线性液膜具有温度变化灵敏度高的特点,YBCO（衬底为LaAlO3）竖直放置,可以表面避免液膜重力对启动时长的影响,获得更为准确的监测数据。由线性液膜的横向剖面灰度变化得到在本实验条件下YBCO薄膜与体积比H3PO4∶H2O=1∶300腐蚀液的反应启动时长介于0.3-0.4 s之间。
- 刘霖叶玉堂吴云峰刘娟秀方亮陆佳佳
- 关键词：薄膜光学红外热像化学腐蚀钇钡铜氧
