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辽宁省自然科学基金(20082169)

作品数：1 被引量：2H指数：1
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题名
作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇压电

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇夏劲松
  • 1篇张吕权
  • 1篇王立鼎
  • 1篇崔岩

传媒

  • 1篇西安交通大学...

年份

  • 1篇2011
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压电微悬臂梁探针的制作工艺研究被引量：2
2011年
为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使用微力传感器测试平台对尺寸为450μm×70μm的压电悬臂梁探针进行测试,结果表明,这种尺寸的压电悬臂梁探针的弹性常数为21.17N/m,与理论计算值相符.通过对压电探针的设计制作,总结了湿法腐蚀-干法刻蚀等工艺的结合方案,为压电探针的广泛应用奠定了基础.
崔岩张吕权夏劲松王立鼎
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