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四川省教育厅资助科研项目(1010ZC119)

作品数：1 被引量：11H指数：1
相关作者：李俊谌加军许华陈太红何智兵更多>>
相关机构：西华师范大学中国工程物理研究院更多>>
发文基金：四川省教育厅资助科研项目更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇射线衍射
  • 1篇微结构
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射功率
  • 1篇X射线衍射
  • 1篇MO薄膜
  • 1篇表面形貌
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇中国工程物理...
  • 1篇西华师范大学

作者

  • 1篇唐永建
  • 1篇廖国
  • 1篇何智兵
  • 1篇陈太红
  • 1篇许华
  • 1篇谌加军
  • 1篇李俊

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
溅射功率对Mo薄膜微结构和性能的影响被引量：11
2011年
实验采用直流磁控溅射沉积技术在不同溅射功率下制备Mo膜,研究了不同溅射功率下Mo膜的沉积速率、表面形貌及晶型结构,并对其晶粒尺寸和应力进行了研究。利用原子力显微镜观察样品的表面形貌发现随着溅射功率的增加,薄膜表面粗糙度逐渐增大。X射线衍射分析表明薄膜呈立方多晶结构,晶粒尺寸为14.1～17.9nm;应力先随溅射功率的增大而增大,在40W时达到最大值(2.383GPa),后随溅射功率的增大有所减小。
廖国何智兵陈太红许华李俊谌加军唐永建
关键词：直流磁控溅射MO薄膜溅射功率表面形貌X射线衍射
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