浙江省教育厅科研计划(20041320)
- 作品数:4 被引量:25H指数:3
- 相关作者:周兆忠郑家锦袁巨龙赵萍吴明明更多>>
- 相关机构:浙江工业大学更多>>
- 发文基金:浙江省自然科学基金浙江省教育厅科研计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺机械工程更多>>
- 不定偏心平面研磨均匀性的研究被引量:4
- 2005年
- 提出了一种新的不定偏心平面研磨方式,主动驱动工件使其在绕自身回转轴自转的同时,绕垂直于研磨盘表面的轴线公转。该方式涵盖了定偏心研磨和行星轮式双面研磨。对该方式进行了运动分析,得到了工件相对于研磨盘速度的表达式。在Preston方程基础上,建立了材料去除函数和研磨均匀性函数。理论分析和仿真结果表明,通过设置选择适当的转速比组合,可使工件获得均匀研磨。讨论了转速比与偏心距对研磨均匀性的影响。
- 周兆忠赵萍袁巨龙王志伟郑家锦
- 关键词:偏心距
- 高精度陶瓷球的研磨加工技术研究被引量:12
- 2006年
- 在精密球体的制造工艺中,关键技术是最后的精密研磨。本文探讨了球体研磨的成球机理,介绍了国内外精密球体研磨技术的现状,分析了影响陶瓷球研磨质量和效率的工艺因素。
- 郑家锦吴明明周兆忠
- 关键词:研磨
- 氮化铝基片超精密加工的实验研究被引量:2
- 2005年
- 氮化铝材料具有较高的热导率和良好的介电性能,机械强度高,热膨胀系数与半导体硅材料相近,非常适于制造大功率或快速半导体器件的散热基片和封装材料。本文采用游离磨料加工方法对氮化铝基片表面进行了研磨、抛光, 讨论了不同加工参数对试件表面粗糙度和材料去除率的影响。采用表面粗糙度仪和厚度仪分别对超精密加工后AIN基片的表面粗糙度及去除厚度进行了测量。实验结果表明,在本实验条件下可以获得表面粗糙度Ra为8nm的超光滑表面。实验还采用XJZ-5型电子显微镜对加工过程中AIN的表面结构进行了观察,分析了不同超精密加工阶段的材料去除机理,同时发现晶粒间孔隙会降低AIN基片的可加工性能。
- 周兆忠袁巨龙郑家锦吕冰海
- 关键词:超精密加工研磨抛光表面粗糙度
- 精密球体研磨技术的现状与发展方向被引量:8
- 2005年
- 精密球是圆度仪、陀螺、轴承和精密测量中的重要元件,并常作为精密测量的基准,在精密设备和精密加工中具有十分重要的地位,在精密球体的制造工艺中,关键技术是最后的精密研磨。介绍了国内外精密球体研磨技术的现状,分析了现有研磨技术的局限性,指出了今后对精密球成球机理系统性研究的一些关键问题。
- 周兆忠赵萍陈苗青袁巨龙
- 关键词:研磨技术