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国家高技术研究发展计划(2005AA4311030)

作品数:1 被引量:4H指数:1
相关作者:李敬李金洪曾晓雁李祥友更多>>
相关机构:华中科技大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:一般工业技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电子技术
  • 1篇厚膜
  • 1篇厚膜导体

机构

  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇李祥友
  • 1篇曾晓雁
  • 1篇李金洪
  • 1篇李敬

传媒

  • 1篇电子元件与材...

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
微型喷嘴雾化直写技术制备厚膜导体研究被引量:4
2006年
采用微细雾化喷射沉积直写的方法在陶瓷基板上制备银厚膜导体。主要研究了施加气压、喷嘴到基板距离、直写速度以及雾化气压对导体线宽的影响规律,分析了微型喷嘴雾化直写厚膜导体机理,并优化了工艺参数,得到了最佳工艺参数范围:施加驱动气压控制在0.05~0.10MPa,喷嘴到基板距离0.4~1.2mm,直写速度在15mm/s以下,雾化气压0.14~0.24MPa,所得线宽350~750μm,单层膜厚1.5~10μm。
李敬李金洪李祥友曾晓雁
关键词:电子技术
共1页<1>
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