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国家高技术研究发展计划(2005AA4311030)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
李敬
李金洪
曾晓雁
李祥友
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相关机构:
华中科技大学
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国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
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李敬
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电子元件与材...
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1篇
2006
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微型喷嘴雾化直写技术制备厚膜导体研究
被引量:4
2006年
采用微细雾化喷射沉积直写的方法在陶瓷基板上制备银厚膜导体。主要研究了施加气压、喷嘴到基板距离、直写速度以及雾化气压对导体线宽的影响规律,分析了微型喷嘴雾化直写厚膜导体机理,并优化了工艺参数,得到了最佳工艺参数范围:施加驱动气压控制在0.05~0.10MPa,喷嘴到基板距离0.4~1.2mm,直写速度在15mm/s以下,雾化气压0.14~0.24MPa,所得线宽350~750μm,单层膜厚1.5~10μm。
李敬
李金洪
李祥友
曾晓雁
关键词:
电子技术
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