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北京市科技新星计划(H020820990120)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：彭建华刘安东吴先映张荟星更多>>
相关机构：北京师范大学更多>>
发文基金：北京市科技新星计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：核科学技术更多>>

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇核科学技术
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 2篇注入机
  • 2篇离子注入
  • 1篇电极
  • 1篇引出电极

机构

  • 3篇北京师范大学

作者

  • 1篇张荟星
  • 1篇吴先映
  • 1篇刘安东
  • 1篇彭建华

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
100型MEVVA源注入机注入均匀性研究
提高金属蒸汽真空弧(Metal vapor vacuum arc,MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVVA源离子注入技术实用化的关键。为此开展了100型MEVVA源注入机大批量注入均匀性的研究。...
吴先映李强张荟星刘安东彭建华
关键词：离子注入
文献传递
Mevva离子源凸形引出电极的研制
介绍了Mevva离子源的凸形引出电极的研制。研究表明凸形引出电极可以完成离子束的强制发散功能,从而在较短的引出距离和较小的引出电极面积的条件下得到大的束斑和均匀可应用的束流分布。
吴先映张孝吉李强张胜基张荟星刘安东
关键词：引出电极
文献传递
100型MEVVA源注入机注入均匀性研究
2007年
提高金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc,MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVVA源离子注入技术实用化的关键。为此开展了100型MEVVA源注入机大批量的工件注入均匀性的研究。本文介绍了100型MEVVA源注入机的靶室结构和靶盘分布,研究了0°定位自转、靶盘公转自转、45°定位自转的注入离子浓度分布。这三种方式的注入离子浓度分布都不能满足大批量均匀注入的需要。但45°定位自转的注入离子浓度分布的趋势与另两种相反,这意味着将45°定位自转与0°定位自转或靶盘公转自转相结合进行复合注入,可以得到均匀的注入效果。通过对几种注入方式的拟合计算来确定复合注入的注入比例。最后通过实验研究了靶盘不同运动状态的复合注入,得到了相当均匀的注入效果。
李强吴先映张荟星刘安东彭建华王桂岳
关键词：离子注入
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