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吉林省科技厅科技发展计划项目(20080509)

作品数：1 被引量：16H指数：1
相关作者：张晴邹广田王启亮成绍恒吕宪义更多>>
相关机构：吉林大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”吉林省科技厅科技发展计划项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇退火
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石单晶
  • 1篇金刚石工具
  • 1篇刚石
  • 1篇CVD

机构

  • 1篇吉林大学

作者

  • 1篇李红东
  • 1篇吕宪义
  • 1篇成绍恒
  • 1篇王启亮
  • 1篇邹广田
  • 1篇张晴

传媒

  • 1篇超硬材料工程

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高速生长CVD金刚石单晶及应用被引量：16
2011年
文章简要地介绍了近年来国内外CVD金刚石单晶的高速生长和应用进展。实验中采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)方法,同质外延高速生长金刚石单晶,通过改变反应腔压强、反应气氛(在CH4/H2中引入氮气N2、二氧化碳CO2、氧气O2、)等,调制单晶生长速率、质量、颜色、表面粗糙度、光谱等特性。利用高温氢等离子体进行退火,可使金刚石单晶的颜色有很大的改善。研制了CVD金刚石单晶刀具,用于金属材料的曲面镜面加工。
王启亮吕宪义成绍恒张晴李红东邹广田
关键词：CVD金刚石单晶退火金刚石工具
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