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国家自然科学基金(50775205)

作品数:7 被引量:12H指数:2
相关作者:章海军张冬仙刘超李新弘王乐妍更多>>
相关机构:浙江大学中国科学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:机械工程自动化与计算机技术理学更多>>

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 4篇会议论文

领域

  • 5篇机械工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 7篇激光
  • 2篇准分子
  • 2篇准分子激光
  • 2篇微加工
  • 2篇光热
  • 2篇分子
  • 2篇EXPERI...
  • 2篇NOVEL
  • 1篇动态特性
  • 1篇英文
  • 1篇伸长量
  • 1篇石蜡
  • 1篇式微
  • 1篇热塑材料
  • 1篇微加工技术
  • 1篇微驱动
  • 1篇微悬臂
  • 1篇理论与实验研...
  • 1篇开关
  • 1篇柯勒照明

机构

  • 9篇浙江大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 8篇张冬仙
  • 7篇章海军
  • 5篇刘超
  • 4篇王乐妍
  • 1篇李新弘
  • 1篇温正湖
  • 1篇赵冬伟
  • 1篇王波
  • 1篇何玉琳
  • 1篇伊福廷

传媒

  • 1篇光电子.激光
  • 1篇物理学报
  • 1篇光学学报
  • 1篇光谱学与光谱...
  • 1篇High T...
  • 1篇Chines...
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇2007’仪...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 4篇2009
  • 2篇2008
  • 3篇2007
7 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于准分子激光微加工的光热微驱动器(英文)
2011年
提出了基于光热(PT)微膨胀原理的新型光热微驱动技术.设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器.以AutoCAD设计图为基础,采用KrF准分子激光微加工系统,在单层高密度聚乙烯(HDPE)上加工出长1 500μm、宽250μm、厚40μm的开关式光热微驱动器.从微驱动器的扫描电子显微镜(SEM)图可以看出,微驱动器形状与AutoCAD设计值符合良好.光热微驱动实验采用脉冲频率可调的半导体激光器(4 mW,650 nm)作为驱动源.实验结果表明,在一定的脉冲频率范围(如0~17 Hz)内,光热微驱动器具有良好的静态和动态特性,其横向偏转量最大可达11μm,足以实现微开关功能.这种光热微驱动器可由激光束直接控制,具有原理新颖、结构简洁、体积小、易于加工制作等特点,在微纳米技术领域和微光机电系统(MOEMS)中具有广阔的应用前景.
章海军赵冬伟伊福廷王波张冬仙
关键词:微加工微驱动动态特性激光
基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统被引量:6
2008年
提出和建立了基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统。该系统以柯勒照明的白光迈克耳孙干涉计为基础,使用自稳定锁相电路以减少相位噪音,引入相移装置获得定量的相位图像。实验分别以平面镜、标准测试图和聚苯乙烯小球为样品,获得了清晰的定量相位图像,实现了对样品的实时观测。该装置采用卤素灯照明,达到轴向分辨力5 nm,系统中的柯勒照明结构使其具有高空间相干性。实验结果表明,该装置能有效避免系统中其他光学表面(如系统中的透镜表面)干扰信号的影响。
李新弘章海军张冬仙
关键词:白光干涉柯勒照明
利用808nm半导体激光的三维微结构热塑成型方法研究
提出了一种三维微结构光致热塑成型新方法;对激光光致热塑成型的原理进行了分析;建立了三维微结构光致热塑成型实验系统,采用808nm半导体激光器作为制备光源,通过计算机及CCD系统实现制备过程的自动控制及实时监控;利用该实验...
王乐妍张冬仙章海军
关键词:热塑材料
文献传递
Theoretical modelling and experimental study of novel photothermal microactuators被引量:1
2009年
We present a category of novel photothermal (PT) microactuators. Each microactuator consists of two PT arms that are jointed at the free end and connected to an anchor at the fixed end. When a laser beam irradiates one of the arms (called hot arm, and the other is cold arm), light energy is absorbed and converted into heat. The asymmetric thermal expansion of the hot and cold arms results in lateral deflection. Based on conduction heat transfer theory and heat dissipation mechanism, we study the PT effects and establish the theoretical model of PT expansion for the microactuators. The temperature distribution and the linear thermal expansion can be numerically calculated. The analytical solution provides an insight into the operation of the actuators and predicts the performance of the actuators with new designs. A symmetry microactuator and a microswitch as the prototypes have been fabricated and tested. The experimental results are in good agreement with the theoretical predictions and prove the feasibility of the novel PT microactuators.
马利红张冬仙刘超章海军
关键词:PHOTOTRANSISTORS
微纳米尺度光热膨胀机制的理论与实验研究
本文提出了一种利用光热膨胀实现微驱动的新方法。在激光照射下,物质的分子动能增大,固体物质因光热膨胀的作用而产生形变或伸长。其微纳米的伸长量与激光功率、材料的导热率、与空气的对流换热速率、几何形状等因素有关。本文在对光热膨...
刘超张冬仙何玉琳
关键词:微悬臂激光伸长量
文献传递
微型光热驱动机构的光热膨胀理论模型与实验研究被引量:2
2009年
提出和发展了一种基于微尺度光热膨胀效应的微型光热驱动机构.建立了膨胀臂的微尺度光热传导与膨胀的物理模型,利用有限元分析和数学物理方法,推导出膨胀臂的一维温度分布表达式及光热膨胀量和偏转量的计算公式.利用准分子激光微加工系统设计制作了一个长度为1200μm的微型光热驱动样机,根据激光和样机的相关参数,计算得到光热膨胀量与激光功率之间的理论关系曲线.实验结果表明,微型光热驱动机构的光热偏转量(对应于膨胀量)与照射到膨胀臂上的激光功率近似成线性关系,实验曲线与理论模型及计算结果符合良好.在理论和实验研究基础上,作为光热微驱动的应用实例,设计并加工制作了一个双向微开关型光热驱动机构,并通过实验实现了双向微开关功能.
刘超张冬仙章海军
关键词:激光
激光光热控制触点开关式微驱动机构及实验研究被引量:2
2008年
提出了一种新型的激光光热控制触点开关式微驱动机构;对于驱动性能受到形状参数的影响进行了理论分析;采用KrF准分子激光器制备了两种不同长度的微驱动机构;自行搭建的激光光热控制实验系统,采用655nm红色激光作为驱动源,利用该实验系统进行了比较驱动实验,实验结果表明:触点偏转量随着驱动器臂长的增大而增大,同时对于相同长度的微驱动机构,触点偏转量随着驱动激光功率的增大而增大。该新型微驱动机构结构简单,制备快捷,可以采用激光对其实现远距离、非接触控制,集成度高。
王乐妍刘超章海军张冬仙
关键词:触点开关准分子激光
光热膨胀材料的光谱特性分析及微型光热驱动机构研究
2009年
光热膨胀材料的光谱特性是影响微型光热驱动机构性能的关键因素,该文在理论分析的基础上,采用单积分球测量法对四种聚合物材料的反射光谱及吸收特性进行了实验测量,据此选择制作光热驱动机构的最佳光热膨胀材料,发现掺杂染料的高密度聚乙烯(HDPE)材料在600~690nm的范围内有较强烈的吸收。选取HDPE作为光热膨胀材料,设计制作了一种长度1500μm的微型光热驱动机构,并采用自行研制的CCD显微监控和视频运动测量系统进行了驱动机构的驱动性能测量实验。研究结果表明,在10mW/650nm的半导体激光器驱动下,该微型光热驱动机构可以产生18.7μm的光热偏转量,说明其具有良好的光谱吸收和光热转换特性,可望在微光机电系统(MOEMS)中获得广泛应用。
刘超张冬仙章海军
关键词:反射光谱
利用准分子激光微加工技术的微型器件制作及研究
本文利用 KrF 准分子激光器(248nm)进行了微机构加工的研究。准分子激光属于紫外波段激光,具有很高的光子能量,当作用于材料表面时,材料因吸收的光子能量超过自身结合键能而产生化学键的断裂,从而在表面形成刻蚀。基于上述...
王乐妍刘超章海军
关键词:准分子激光微加工MEMS
文献传递
基于激光光致热塑膨胀的三维微结构制备新方法
本文介绍了一种基于激光光致热塑膨胀效应的三维微结构制备新方法。浸没在液体环境中的热塑性材料,在聚焦激光照射下,表面局部微小区域产生热融,并向充满液体的自由空间膨胀生长;停止激光照射后,在周围液体的冷却作用下,膨胀生长的部...
温正湖王乐妍张冬仙
关键词:激光加工石蜡
文献传递
共2页<12>
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