江苏省研究生培养创新工程项目(CXZZ120928)
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
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- 基于纳米磁性液体的旋转式蠕动微泵
- 2013年
- 设计了一种基于纳米磁性液体的旋转式蠕动微泵。泵体由上、下基板和弹性薄膜组成,弹性薄膜位于上、下基板的中间位置。在上、下基板上分别加工出微型管道,上管道中的纳米磁性液体在磁场作用下压迫弹性薄膜变形,从而推动下管道中的液体流动,并且采用环形结构,实现连续泵送的目的。运行结果显示:泵送流量和泵送压力是梯度磁场产生的正压力与移动磁场产生的驱动力共同作用的结果。当磁场旋转速度达到6 r/min时,微泵产生的最大泵送压力达1 600 Pa,此时的流量为1.8 mL/min。
- 吴健刘同冈张亮
- 关键词：微流体系统微泵纳米磁性液体
- 基于MEMS平面弹簧的微小载荷测试方法
- 2014年
- 本文提出一种微小载荷测量方法,搭建了基于MEMS平面弹簧的测量装置,主要由支撑臂、MEMS平面弹簧和激光位移探测器组成.通过激光位移探测器测量MEMS平面弹簧的微小变形,换算得到所施加的微小载荷.采用深反应离子刻蚀(DRIE)等微加工工艺制作了平面微弹簧,并对其进行理论计算和仿真模拟,给出了刚度范围,最后通过实际测量的方式进行了实验标定.结果显示:MEMS平面弹簧的标定刚度为7.88 mN/μm,其结果与理论及仿真结果较接近,测量精度可达0.08 mN.使用该装置和精密电子天平分别对10组微小质量试块进行测量,其平均误差率为5.75%.
- 吴健刘同冈刘帅商金玮
- 关键词：MEMS
