李德香
作品数: 12被引量:2H指数:1
  • 所属机构:昆明物理研究所
  • 所在地区:云南省 昆明市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

黄晖
作品数:73被引量:94H指数:6
供职机构:昆明物理研究所
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供职机构:昆明物理研究所
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赵鹏
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龚晓霞
作品数:29被引量:36H指数:4
供职机构:昆明物理研究所
研究主题:红外探测器 INASSB 暗电流 锑化铟 红外探测器材料
不同抛光方式下InSb晶片表面质量的对比研究被引量:2
2022年
本文分别以加双氧水的化学机械抛光和未加双氧水的纯机械抛光方式对InSb晶片进行表面处理,通过分析氧化膜的生成,以及对InSb晶片的表面划痕、表面粗糙度和表面损伤的表征,开展了两种不同抛光方式下InSb晶片的表面质量对比研究。结果表明,在化学机械抛光过程中,InSb晶片表面有氧化层生成,该氧化层能保护材料表面免受损伤;并且发现加入双氧水作为抛光液的化学机械抛光方法能够获得较好表面质量的InSb晶片,其表面几乎无划痕,粗糙度降至0.606 nm,平整度约6.916 nm,且表面损伤明显降低。
李德香龚晓霞张丽霞袁俊杨文运
关键词:INSB抛光氧化层化学机械抛光机械抛光
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