安南
作品数: 1被引量:1H指数:1
  • 所属机构:国家纳米科学中心
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

任黎明
作品数:86被引量:54H指数:6
供职机构:北京大学
研究主题:石墨烯 金属 纳电子学 电子束曝光 光刻胶
朱效立
作品数:155被引量:124H指数:6
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
赵珉
作品数:31被引量:46H指数:4
供职机构:湛江师范学院信息科学与技术学院
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束抗蚀剂
刘明
作品数:1,361被引量:405H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
陈宝钦
作品数:198被引量:268H指数:9
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束