陈波
作品数： 10被引量：9H指数：2
  • 所属机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
  • 所在地区:辽宁省 沈阳市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家科技重大专项

相关作者

谷德君
作品数：52被引量：12H指数：2
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体行业 湿法处理 晶片 晶圆 承片台
陈焱
作品数：17被引量：3H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：掩膜板 硅片 平板显示器 光刻胶 薄片状
王永斌
作品数：3被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：薄片状 硅片 交叉污染 微电子 酸雾
孙大伟
作品数：2被引量：1H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：硅片加工 单片 刻蚀机 湿法刻蚀 湿法
宗润福
作品数：12被引量：4H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：显影 工艺过程 集成电路制造 基片 立式
作品列表