郭聪
作品数： 12被引量：3H指数：1
  • 所属机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
  • 所在地区:辽宁省 沈阳市
  • 研究方向:电子电信

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张怀东
作品数：22被引量：3H指数：1
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研究主题：晶片 芯片制造 喷嘴 均匀性 显影
施强
作品数：5被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体设备 风扇控制器 风口 阀板 稳压器
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