程启忠
作品数: 2被引量:0H指数:0
  • 所属机构:华北石油管理局
  • 所在地区:河北省 沧州市
  • 研究方向:化学工程

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王君锋
作品数:4被引量:4H指数:1
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研究主题:变压器 干式变压器 夹件 零部件 连接螺栓
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作品数:5被引量:18H指数:3
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 泵头 蠕动泵 CMP 温度控制
最小二乘法在抛光设备压力控制中的应用
2014年
在化学机械抛光(CMP)过程中,压力是影响晶片最终抛光效果的主要因素之一,采用合理的压力控制方法,把压力控制在一定的范围内才能满足化学机械抛光的工艺要求。运用最小二乘法拟合曲线的算法实现压力值精确控制的设计方法,并通过MINITAB仿真及抛光实验验证其可行性。
孙振杰王君锋程启忠
关键词:最小二乘法压力控制
干式变压器压紧装置
本实用新型涉及干式变压器的压紧装置。是由长方形的连接板、固定块、销钉和连接螺栓所组成,其特征在于:在长方形的连接板一端,焊接有固定块,固定块和长方形连接板有一个孔,孔内焊接有销钉。在长方形连接板的另一端,焊接有螺栓,螺栓...
甄建军程启忠孙国平
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