刘晓
作品数: 19被引量:2H指数:1
  • 所属机构:西安交通大学
  • 所在地区:陕西省 西安市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

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基于最小PV值的非球面测量Z轴定位方法
2022年
在基于Zygo干涉仪的非球面检测中,沿光轴(Z轴)方向的定位精度直接影响测量结果的准确性。本文提出了一种基于最小PV值的非球面测量Z轴定位方法,分析了非球面与参考球面波的理论模型,推导出了对应的最佳参考球面波半径、顶点偏离量以及理论测量位置,并在此基础上完成了沿Z轴方向0.001 mm精度范围内的定位过程。该方法可将被测非球面定位至理论测量位置,有效地降低由于定位误差造成的测量误差;准确找到参考球面波半径,对基于Zygo干涉仪的点云重构和拼接方法也具有重要意义。对一直径为108 mm的非球面镜进行了实验验证,定位后的结果与最佳参考球面波的点云数据计算结果对比,结果接近,证明了定位方法的正确性;并与零位检测结果相比,PV值残差为0.047λ,RMS残差为0.019λ,进一步证明了该定位方法的准确性。
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基于作业成本法的税收征管成本核算模式研究-以汉中市地税局为例
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一种用于非球面环形子孔径拼接的中心偏移误差补偿方法
一种用于非球面环形子孔径拼接的中心偏移误差补偿方法,采用矩阵搜索及误差匹配的方式能够高精度地搜索得到非球面环形子孔径拼接测量时各子孔径的中心偏移量,并通过硬件补偿与软件补偿相结合的方式对中心偏移误差进行高精度补偿,得到中...
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