-
张兆华
-
-
- 所属机构:清华大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家高技术研究发展计划
相关作者
- 刘理天
- 作品数:623被引量:885H指数:12
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
- 林惠旺
- 作品数:63被引量:84H指数:6
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:超大规模集成电路 半导体 压力传感器 压阻式压力传感器 灵敏度
- 任天令
- 作品数:426被引量:350H指数:10
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
- 张艳红
- 作品数:13被引量:32H指数:3
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:TPMS 压力传感器 硅基 灵敏度 MOS
- 谭智敏
- 作品数:42被引量:89H指数:5
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:MEMS 微机电系统 硅 3-D 微电子机械系统