明安杰
作品数: 60被引量:55H指数:5
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家高技术研究发展计划

相关作者

陈大鹏
作品数:675被引量:455H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
王玮冰
作品数:124被引量:83H指数:5
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 自测试 压阻传感器 压阻 红外光源
毛海央
作品数:119被引量:95H指数:6
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:热电堆 纳米 MEMS 红外光源 衬底
熊继军
作品数:779被引量:948H指数:12
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 MEMS 压力传感器 传感器 高温压力传感器
谭秋林
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供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 传感器 气体传感器 声表面波 无源
倾斜下电极式MOEMS光开关阵列的光路分析及准直技术研究
本文从高斯光束的传输理论出发,对8×8MOEMS阵列光开关的光路进行了分析.这种光开关的反射镜尺寸与插入损耗(简称插损)密切相关.为了降低插损并且达到准直长度的要求,对相关参数进行了优化选择.此外,开关中光纤、球透镜以及...
明安杰梁静秋兰卫华王维彪董玮陈维友
关键词:MOEMS光开关插损凸角补偿
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一种可集成的纳米结构红外光源
本发明公开了一种可集成的纳米结构红外光源,利用MEMS/CMOS工艺,对非晶硅表面进行纳米修饰加工,形成锥状纳米结构,再对锥状纳米结构进行TiN镀层加工;最后采用正面XeF<Sub>2</Sub>释放技术,对硅衬底进行深...
谭秋林陈媛靖熊继军薛晨阳张文栋刘俊毛海央明安杰欧文陈大鹏
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架空式热电堆红外探测器
本发明涉及热电堆红外探测器,具体是一种架空式热电堆红外探测器。进一步改进了热电堆红外探测器。所述探测器的加工步骤包括:1、在SOI衬底正面加工两隔离槽,划分出了两个热电偶加工区;2、加工SiO2介质支撑膜;3、加工构成热...
王红亮谭秋林陈媛婧熊继军薛晨阳张文栋刘俊毛海央明安杰欧文陈大鹏
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SOI二极管型非制冷红外焦平面结构的改进设计(英文)被引量:5
2014年
在绝缘衬底上的硅(SOI)制备的二极管型非制冷红外焦平面是利用单晶硅PN结二极管作为温度探测器,比其它类型非制冷红外焦平面具有自己的独特优势.描述了传统型像素的结构与特性,并提出一种改进型结构.在传统的像素结构中,红外吸收结构直接覆盖于二极管表面,其填充系数仅为21%.改进后的结构将红外吸收层悬空并覆盖整个像素表面,使吸收结构能够达到80%,大大提高了器件的吸收率.计算结果也显示改进后的结构在像素尺寸为35μm×35μm时,器件的灵敏度可达到7.75×10^(-3)V/K,等效功率噪声(NETID)可减小至43 mK(F/10.0).同时,ANSYS的仿真结果也表明改进后的结构在吸收率上的提高,证明了此结构的可行性.
蒋文静欧文明安杰刘战锋袁烽
关键词:二极管红外焦平面
集成纳米结构的MEMS红外光源及其制备方法
本发明公开一种集成纳米结构的MEMS红外光源及其制备方法。所述集成纳米结构的MEMS红外光源包括承载衬底、支撑层、隔离层、图形化金属电极以及纳米材料辐射层;所述纳米材料辐射层覆盖在图形化金属电极上;所述图形化金属电极设于...
明安杰刘卫兵李超波王玮冰陈大鹏
复合薄膜作为红外吸收层的热电堆红外气体探测器及其加工方法
本发明属于热电堆红外气体探测器的技术领域,具体涉及一种复合薄膜作为红外吸收层的热电堆红外气体探测器及其加工方法,解决了传统热电堆红外探测器热电转化率低和释放过程中悬浮结构易损坏等问题。其包括SOI衬底、热偶条、SiO<S...
谭秋林陈媛婧熊继军薛晨阳张文栋刘俊毛海央明安杰欧文陈大鹏
悬浮结构的MEMS红外光源及其制备方法
本发明公开一种悬浮结构的MEMS红外光源及其制备方法。所述悬浮结构的MEMS红外光源包括薄膜悬浮结构及所述悬浮结构上的红外光源结构;所述薄膜悬浮结构为图形化的支撑层,所述支撑层为沉积在承载衬底上的凹弧状的四梁固支结构;所...
明安杰刘卫兵任耀辉毛海央谭秋林王玮冰熊继军陈大鹏
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一种MEMS红外光源及其制作方法
本发明公开一种MEMS红外光源及其制作方法,其中,MEMS红外光源包括衬底、支撑层、金属电极、热偶条结构层、加热电阻层、隔离保护层和辐射层,所述热偶条结构层形成在红外光源内部芯片,形成耦合热电堆形成温度传感器,采用热电堆...
明安杰刘卫兵孙西龙毛海央陈大鹏
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低电压MOEMS静电光开关的研究
为减小光开关的静电驱动电压,分析了影响开关驱动电压的各个因素,优化设计了光开关的静电驱动结构。在光开关中采用垂直微镜减小了开关所需的位移,改进扭臂与电极结构以增大扭臂长度以及电极的宽度,可进一步减小驱动电压。计算得出扭臂...
兰卫华梁静秋董玮明安杰王惟彪陈维友王立军
关键词:驱动电压根切
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基于湿法预释放结构的MEMS红外光源及其制备方法
本发明公开一种基于湿法预释放结构的MEMS红外光源及其制备方法。所述基于湿法预释放结构的MEMS红外光源包括嵌入式空腔的承载衬底及所述承载衬底上的红外光源结构;所述红外光源结构设有支撑层、隔离层、图形化金属电极以及辐射层...
明安杰刘卫兵孙西龙王玮冰陈大鹏
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