-
邱丽荣
-

-

- 所属机构:北京理工大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 赵维谦

- 作品数:571被引量:333H指数:11
- 供职机构:北京理工大学
- 研究主题:定焦 共焦 激光 差动 显微成像
- 王允

- 作品数:204被引量:101H指数:6
- 供职机构:北京理工大学
- 研究主题:激光 定焦 共焦 差动 显微成像
- 沙定国

- 作品数:206被引量:498H指数:13
- 供职机构:北京理工大学光电学院
- 研究主题:滤波技术 焦距测量 定焦 透镜 光学测量
- 杨佳苗

- 作品数:37被引量:49H指数:3
- 供职机构:北京理工大学
- 研究主题:测量方法 透镜 定焦 差动 共焦
- 杨帅

- 作品数:68被引量:428H指数:9
- 供职机构:北京理工大学
- 研究主题:激光 分光 定焦 光线追迹 装调
- 无限兼有限共轭差动探测寻焦光电像分析器及其方法
- 本发明属于光电测试技术领域,涉及一种集光、机、电、算及自动控制为一体的无限兼有限共轭差动探测寻焦光电像分析器及其实现方法,是光电测试装备的基本构成单元之一。本发明是通过透射光路的高精度差动共焦定焦实现反射光路目标图像的清...
- 赵维谦邱丽荣
- 文献传递
- 高空间分辨激光共焦质谱显微成像方法与装置
- 本发明涉及一种高空间分辨激光共焦质谱显微成像方法与装置,属于共焦显微成像技术和质谱成像技术领域。本发明将共焦成像技术和质谱成像技术光谱探测技术相结合,利用高空间分辨共焦显微系统的聚焦光斑对样品进行轴向定焦与成像,利用同一...
- 赵维谦邱丽荣
- 文献传递
- 可兼顾分辨力和量程的激光差动共焦theta扫描检测方法
- 本发明属于表面微细结构测量技术领域,涉及一种可兼顾分辨力和量程的激光差动共焦theta扫描检测方法。该方法采用共焦theta显微术的光路布置对被测样品进行扫描测量,将物镜的光瞳面分割为照明光瞳和收集光瞳,入射光束透过照明...
- 赵维谦邱丽荣刘超
- 文献传递
- 激光差动相关共焦拉曼光谱测试方法及装置
- 本发明公开的激光差动相关共焦拉曼光谱测试方法及装置,属于显微光谱成像技术领域。本发明利用反射光构建差动共焦显微成像系统,实现样品焦点的高精度追踪和几何形貌的高空间分辨探测;利用拉曼散射光构建共焦拉曼光谱成像系统,测量过程...
- 赵维谦李荣吉邱丽荣王允
- 差动共焦定面干涉靶丸外表面缺陷检测方法与装置
- 本发明涉及差动共焦定面干涉靶丸外表面缺陷检测方法及装置,属于光学成像与检测技术领域。该方法利用差动共焦光强响应曲线的过零点精确定位靶丸(被测面)和相机(探测面)的轴向位置,以此实现外表面准确、自动对焦成像;在干涉显微光路...
- 赵维谦杨帅王允邱丽荣
- 文献传递
- 法向跟踪后置分光瞳差动共焦自由曲面测量方法与装置
- 本发明公开的法向跟踪后置分光瞳差动共焦自由曲面测量方法与装置,属于光学精密检测领域。本发明包括传感器测头、三维运动控制系统、计算机软件处理模块,采用纳米级驱动实现载物台和传感器测头的定位。传感器测头为后置分光瞳差动共焦传...
- 邱丽荣朱晓雪赵维谦王文彬
- 激光共焦/差动共焦振动参数测量方法
- 本发明公开的一种激光共焦/差动共焦振动参数测量方法,属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦、差动共焦测量系统中,首先在共焦、差动共焦轴向响应曲线上定义了最优测试区间,在最优测试区间内,共焦、差动共焦轴向响应曲线对轴向位移...
- 赵维谦何奇邱丽荣
- 文献传递
- 无限兼有限共轭寻焦光电像分析器及其方法
- 本发明属于光电测试技术领域,涉及一种集光、机、电、算及自动控制为一体的无限兼有限共轭寻焦光电像分析器及其实现方法,是光电测试装备的基本构成单元之一。本发明是通过透射光路的高精度共焦定焦实现反射光路目标图像的清晰采集与定焦...
- 邱丽荣赵维谦周桃庚张旭升
- 高精度激光共焦半导体晶圆厚度测量
- 2024年
- 针对半导体晶圆厚度的高精度非接触测量问题与需求,提出了基于激光共焦的高精度晶圆厚度测量方法。该方法利用高分辨音圈纳米位移台驱动激光共焦光探针轴向运动扫描,利用激光共焦轴向响应曲线的峰值点对应物镜聚焦焦点的特性,分别对被测晶圆上下表面进行高精度瞄准定位;通过光线追迹算法精确计算出晶圆表面每个采样点的物理坐标,实现了晶圆厚度的高精度非接触测量。基于该方法构建了激光共焦半导体晶圆厚度测量传感器,实验和分析表明,该传感器的轴向分辨力优于5 nm,轴向扫描范围可达5.7 mm,6种晶圆厚度测量重复性均优于100 nm,单次测量时长小于400 ms。将共焦定焦技术有效地应用于半导体测量领域,为晶圆厚度的高精度、无损在线测量提供了一种新技术。
- 李兆宇刘子豪王瑶莹邱丽荣杨帅
- 关键词:厚度测量光线追迹
- 后置分光瞳双差动共焦曲率半径快速相对测量方法与装置
- 本发明公开的后置分光瞳双差动共焦曲率半径快速相对测量方法与装置,属于光学精密测量技术领域。本发明实现方法为:在同一批被测元件中挑选一个已知曲率半径R<Sub>0</Sub>的元件作为样板S<Sub>0</Sub>,并在其...
- 赵维谦杨帅邱丽荣