王莎莎
作品数： 11被引量：2H指数：1
  • 所属机构:天津理工大学
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:天津市科技计划

相关作者

张楷亮
作品数：218被引量：502H指数：13
供职机构：天津理工大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
王芳
作品数：150被引量：76H指数：4
供职机构：天津大学
研究主题：存储器 叠层结构 化学机械抛光 氧化钒薄膜 金刚石薄膜
曲长庆
作品数：48被引量：13H指数：2
供职机构：天津理工大学
研究主题：金刚石薄膜 金刚石 金刚石膜 金刚石膜电极 电化学
孙大智
作品数：28被引量：31H指数：4
供职机构：天津理工大学
研究主题：金刚石膜 纳米金刚石薄膜 金刚石 金刚石薄膜 纳米
张涛峰
作品数：15被引量：1H指数：1
供职机构：天津理工大学
研究主题：抛光液 抛光速率 集成电路工艺 化学机械平坦化 金刚石薄膜
作品列表