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魏猛
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- 所属机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
- 所在地区:辽宁省 沈阳市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
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- 供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
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- 作品数:25被引量:0H指数:0
- 供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
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- 供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
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- 作品数:10被引量:19H指数:3
- 供职机构:中国科学院沈阳自动化研究所
- 研究主题:热板 烘焙 集成电路 晶圆 温度均匀性