-
徐勤志
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:自动化与计算机技术
相关作者
- 陈岚
- 作品数:897被引量:164H指数:5
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
- 曹鹤
- 作品数:61被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:CMP 研磨 冗余 网格 研磨液
- 刘建云
- 作品数:33被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:研磨 研磨液 CMP 表面形貌 平坦性
- 方晶晶
- 作品数:21被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:CMP 研磨 仿真方法 表面形貌 版图
- 孙艳
- 作品数:34被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:网格 CMP 仿真方法 金属 冗余