-
杨帆
-
-
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 李凡星
- 作品数:35被引量:20H指数:3
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:成像 测量方法 干涉条纹 工件台 调制度
- 严伟
- 作品数:147被引量:124H指数:6
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
- 田鹏
- 作品数:24被引量:4H指数:1
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:测量方法 干涉图像 干涉条纹 调制度 全息
- 胡松
- 作品数:469被引量:445H指数:8
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
- 邓钦元
- 作品数:48被引量:21H指数:3
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻