张家良
作品数: 78被引量:257H指数:11
  • 所属机构:大连理工大学
  • 所在地区:辽宁省 大连市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

马腾才
作品数:196被引量:595H指数:13
供职机构:大连理工大学
研究主题:等离子体 离子注入 强流脉冲离子束 强流脉冲离子束辐照 辉光放电
牟宗信
作品数:98被引量:171H指数:8
供职机构:大连理工大学
研究主题:磁控溅射 等离子体 非平衡磁控溅射 离子束 离子注入
王德真
作品数:102被引量:360H指数:11
供职机构:大连理工大学物理与光电工程学院
研究主题:大气压 等离子体 辉光放电 数值模拟 鞘层
邓新绿
作品数:60被引量:235H指数:9
供职机构:大连理工大学
研究主题:磁控溅射 类金刚石膜 类金刚石薄膜 等离子体诊断 性能研究
陆文琪
作品数:50被引量:88H指数:6
供职机构:大连理工大学物理与光电工程学院
研究主题:等离子体诊断 探针 电子温度 等离子体 磁控溅射