胥兴才
作品数： 17被引量：19H指数：2
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家科技攻关计划

相关作者

陈大鹏
作品数：677被引量：460H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
叶甜春
作品数：847被引量：673H指数：10
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：沟道 X射线光刻 半导体器件 版图 衬底
李兵
作品数：41被引量：40H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 掩模 干法刻蚀 深亚微米 X射线
谢常青
作品数：507被引量：263H指数：8
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
韩敬东
作品数：14被引量：21H指数：2
供职机构：中国科学院
研究主题：X射线光刻 LPCVD 氮化硅 掩模 氮化硅膜
作品列表