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胡一贯
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- 所属机构:中国科学技术大学
- 所在地区:安徽省 合肥市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
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- 田扬超
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- 作品数:150被引量:276H指数:9
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
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- 作品数:22被引量:48H指数:4
- 供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
- 研究主题:光刻掩模 光刻 光刻胶 LIGA 牺牲层
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- 作品数:186被引量:404H指数:11
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
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- 作品数:198被引量:363H指数:9
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
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- 作品数:32被引量:93H指数:7
- 供职机构:中国科学技术大学
- 研究主题:离子束刻蚀 软X射线 光刻掩模 全息光刻 光刻胶