-
任琮欣
-

-

- 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:一般工业技术
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 柳襄怀

- 作品数:140被引量:567H指数:12
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:离子束 离子束增强沉积 离子束辅助沉积 离子注入 电子发射
- 邹世昌

- 作品数:200被引量:245H指数:9
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
- 江炳尧

- 作品数:33被引量:32H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
- 陈国梁

- 作品数:11被引量:9H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:超导薄膜 YBA 超导膜 YBACUO 离子注入
- 冯涛

- 作品数:86被引量:208H指数:8
- 供职机构:华东师范大学
- 研究主题:碳纳米管 场发射 离子束辅助沉积 场发射显示器 电子发射