黄贤
作品数: 30被引量:0H指数:0
  • 所属机构:北京大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

张大成
作品数:249被引量:428H指数:10
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
杨芳
作品数:96被引量:21H指数:3
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 压阻式压力传感器 牺牲层
王玮
作品数:674被引量:821H指数:15
供职机构:北京大学
研究主题:单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 芯片 硅基
何军
作品数:49被引量:0H指数:0
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 刻蚀 成品率 芯片尺寸 结构层
罗葵
作品数:79被引量:8H指数:2
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 成品率 微电子机械系统 淀积 湿法腐蚀
正在加载数据...