薛昕
作品数: 5被引量:7H指数:1
  • 所属机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

谭智敏
作品数:43被引量:89H指数:5
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 3-D 微电子机械系统
刘理天
作品数:628被引量:885H指数:12
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 硅 压力传感器 微机械
李雯
作品数:9被引量:8H指数:1
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:3-D MEMS 电感 电感设计 通信领域