-
焦继伟
-

-

- 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 王跃林

- 作品数:721被引量:796H指数:14
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
- 熊斌

- 作品数:218被引量:197H指数:7
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
- 李昕欣

- 作品数:541被引量:380H指数:10
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
- 李铁

- 作品数:357被引量:139H指数:6
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
- 杨恒

- 作品数:149被引量:138H指数:6
- 供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻