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黄仁东
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- 所属机构:上海集成电路研发中心
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
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- 供职机构:上海集成电路研发中心
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- 作品数:80被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
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- 作品数:38被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:淀积 清洗方法 硅 干法刻蚀 二氧化硅