江正斌
作品数: 2被引量:0H指数:0
  • 所属机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

相关作者

周建伟
作品数:61被引量:129H指数:6
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片