张贺
作品数: 42被引量:6H指数:2
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:北京市科技新星计划

相关作者

陈岚
作品数:897被引量:164H指数:5
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
曹鹤
作品数:61被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 冗余 网格 研磨液
孙艳
作品数:34被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:网格 CMP 仿真方法 金属 冗余
刘宏伟
作品数:12被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:表面形貌 仿真方法 形貌 CMP工艺 CMP
方晶晶
作品数:21被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 仿真方法 表面形貌 版图