-
温诗铸
-

-

- 所属机构:清华大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 雒建斌

- 作品数:643被引量:1,180H指数:19
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
- 孟永钢

- 作品数:316被引量:701H指数:15
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:电流变液 隐身 气体润滑 金属 脱附
- 黄平

- 作品数:356被引量:1,132H指数:16
- 供职机构:华南理工大学
- 研究主题:薄膜润滑 弹流润滑 微机电系统 线接触 润滑
- 田煜

- 作品数:166被引量:204H指数:8
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:电流变液 脱附 粘附 硅油 组件
- 路新春

- 作品数:367被引量:361H指数:11
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光