-
殷华湘
-

-

- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 张青竹

- 作品数:212被引量:13H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 沟道 纳米片 叠层 金属栅
- 秦长亮

- 作品数:141被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 栅极 沟道 鳍片 侧墙
- 赵超

- 作品数:566被引量:37H指数:4
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
- 朱慧珑

- 作品数:1,190被引量:1H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
- 李俊峰

- 作品数:521被引量:7H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极