搜索到 篇“ TETRAETHYLORTHOSILICATE “的相关文章

相关作者

王启明
作品数：236被引量：305H指数：9
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：硅基 锗 硅 半导体材料 硅衬底
胡雄伟
作品数：162被引量：208H指数：8
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：阵列波导光栅 波导 硅基二氧化硅 AWG SIO
邓晓清
作品数：8被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：双折射效应 双折射 波导型 氧化硅 TEOS
廖左升
作品数：1被引量：2H指数：1
供职机构：中华人民共和国工业和信息化部
研究主题：DEPOSITION THICK SIO TETRAETHYLORTHOSILICATE H
雷红兵
作品数：26被引量：89H指数：6
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：阵列波导光栅 解复用器 光致发光 ER 波分复用