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Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜性能影响的研究: 2023年; 透明导电薄膜广泛应用于太阳能电池、触控面板、液晶显示等领域。本文采用磁控溅射法制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜,研究Ag层厚度对AZO/Ag/AZO透明导电薄膜光电性能的影响。结果表明,AZO薄膜是具有六方晶系ZnO纤锌矿结构的多晶相。当Ag层厚度增加时,AZO/Ag/AZO薄膜的(002)衍射峰略向较高的角度移动且半高宽略微增大,晶粒尺寸和晶面间距减小。AZO/Ag/AZO薄膜的电阻率,方块电阻,光学透射率与Ag层的厚度密切相关。随着Ag层厚度的增加,电阻率减小,透射率减小。品质因数表明,其中Ag层厚为5nm的AZO/Ag/AZO三层薄膜具有较好的光电性能。; 张健峰; 关键词：透明导电薄膜磁控溅射法

AZO薄膜的制备及其电性能研究: ZnO掺杂Al（Al-dopedZnO，简称AZO）薄膜不仅具有良好的导电性，而且能保持ZnO原有的六角纤锌矿结构不变，在外部应变下表现出压电性能，在半导体器件、压电光电、生物医疗以及信息存储等领域具有良好的应用前景。此...; 卢晓玲; 关键词：氧化锌铝掺杂射频磁控溅射电性能

激光刻蚀对Ag/FTO/AZO薄膜光学和电学性能的影响被引量：1: 2022年; 采用不同能量密度的激光对制备的Ag/FTO/AZO多层薄膜进行光栅结构刻蚀,分析激光刻蚀后薄膜的表面形貌、光学性能和电学性能的变化,并确定薄膜获得最佳性能时的激光能量密度。结果表明,以一定的激光能量密度对薄膜进行光栅结构刻蚀处理,不仅能有效提高薄膜的抗反射能力,还能产生附加退火作用,促使薄膜晶粒生长,减少晶界面积,从而减少晶界的光子和载流子的散射损失,提高载流子的迁移率,最终提高薄膜的透过率,优化薄膜的导电性能,实现薄膜的光学性能和电学性能的优化。; 周运龙雷敏王陈林许倩李保家黄立静

Ag夹层厚度对PMMA基底上AZO/Ag/AZO薄膜结构和性能的影响: 2022年; 室温下在预制有底涂的有机玻璃(PMMA)表面上采用磁控溅射方法沉积了AZO/Ag/AZO叠层薄膜。研究了Ag夹层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜的结构、光电性能和电加热性质的影响。结果表明:更大的Ag夹层厚度有利于AZO薄膜晶面生长,AZO(50nm)/Ag(13nm)/AZO(50nm)结构具有84.3%的高透射率和3.4Ω/□的低薄膜电阻,与PMMA基底上沉积的其他薄膜材料相比具有最佳的光电性能;基于AZO/Ag/AZO叠层膜的PMMA电加热器件在5V的低电压载荷下表现出良好的升温效果;低温下13nm Ag夹层厚度的PMMA电加热器件具有更稳定的温度可重复性以及更小的表面温差,在最低-40℃环境下升温范围可达43℃,满足低温下的除冰除霜需求。作为传统ITO薄膜的高性能替代方案,基于AZO/Ag/AZO薄膜的PMMA电加热器件在航空电加热窗口领域有良好的应用前景。; 徐清源张运生冯海兵陈琛黄鹏祖成奎; 关键词：PMMA 光电性能电加热

沉积条件对室温下磁控溅射AZO薄膜微结构与光电性能的影响被引量：1: 2022年; 通过控制室温下射频磁控溅射过程中不同的氩气工作气压、溅射功率和沉积时间,在石英玻璃上沉积Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,探究了三种工艺条件对制备的AZO薄膜的微结构及光电性能的影响。所制备的AZO薄膜经500℃退火后均为六方纤锌矿结构,具有优异的透明度,在可见光范围内的平均透过率均在86%以上。在气压0.25Pa、功率200W下,溅射时间为10min时,薄膜的电阻率低至5.04×10^(-3)Ω·cm,而溅射时间为15min时,Haacke性能指数最优,为0.314×10^(-3)Ω^(-1)。结果表明,磁控溅射制备的AZO薄膜的晶体结构、方阻和透过率等特性与制备过程中的气压、功率和时间密切相关,通过评价性能指数可指导优化AZO薄膜的制备工艺。; 莫敏静刘哲马紫腾董志虎刘雍魏长伟何春清; 关键词：射频磁控溅射室温

一种柔性衬底上晶体取向和极性可控的外延AZO薄膜及其制备方法: 本发明涉及一种柔性衬底上晶体取向和极性可控的外延AZO薄膜及其制备方法，制备方法包括(1)将由镍合金基带与织构化缓冲层构成的耐高温柔性衬底和靶材放入真空室并抽真空，并给衬底加热；(2)通过流量控制器给真空室通入气体；(3...; 徐从康李永宽王江涌

原子层沉积技术制备AZO薄膜及其性能研究: 氧化锌(ZnO)作为第三代半导体材料,具有禁带宽度大、介电常数小、无毒、廉价等优点,可广泛应用于蓝光和紫外光的发光器件,是目前电子领域发展的一个热点。此外,N型导电的ZnO薄膜可进行铝(Al)、镓(Ga)、铟(In)等三...; 赵浩; 关键词：氧化锌光电性能

溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的研究进展被引量：1: 2021年; 综述了采用溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的进展,阐述了影响AZO薄膜光电特性的主要工艺参数,分析了陈化时间、热处理工艺、铝掺杂量、催化剂种类及薄膜厚度因素等对AZO薄膜结构、光电性能的影响,指出了溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的优势与不足,展望了未来的研究方向。; 纪建超颜悦哈恩华; 关键词：AZO薄膜溶胶-凝胶光电特性

双靶共溅射制备AZO薄膜的光电性能研究被引量：1: 2021年; 采用双靶共溅射的方法制备了光电性能较好的掺Al氧化锌(AZO)薄膜,利用X射线衍射仪、霍尔测试仪、SEM等多种技术手段研究了不同的Al溅射功率和快速退火条件对AZO薄膜的影响,发现AZO薄膜在Al溅射功率为15W、退火温度为400℃时性能最佳。当Al溅射功率为15W时,其电阻率最低为6.552×10^(-4)Ω·cm,可见光波段(400~700nm)平均透过率超过92%。随着Al溅射功率的增大,可见光波段的透过率逐渐减小,红外波段(2.5~20μm)的透过率逐渐增大,最大为40%。; 冯媛媛邓军许晓芳贺鑫宋钊; 关键词：AZO薄膜快速退火红外

一种基于AZO薄膜的阻变存储器及其制备方法: 本发明属于微电子技术领域，公开了一种基于氧化锌掺铝(AZO)薄膜的阻变存储器及其制备方法，所述阻变存储器为叠层结构，包括依次排列的阻变层和衬底，其中所述阻变层上设置有顶电极：所述衬底设置有底电极；其中，所述衬底为p‑Si...; 卢晓玲郭晓斌苏枫超苏峥邱文海; 文献传递

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