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一种光学元件激光加工与面形误差原位实时检测方法及装置: 本发明涉及一种光学元件激光加工与面形误差原位实时检测方法及装置，属于光学先进制造技术领域，目的是通过高效、准确、成本效益高的实时检测和控制光学元件幅面整体面形的质量。该检测装置包括：激光加工系统，干涉仪检测系统以及计算机...; 张志宇钟华坤王晨徐凯张学军

微透镜环带状面形误差的测试方法及装置: 本发明涉及微透镜面形误差测试技术领域，公开了一种微透镜环带状面形误差的测试方法及装置，本发明的测试方法包括以下步骤：利用入射光照射微透镜光学表面；利用探测器获取微透镜的远场光斑能量分布；获取不同环带误差的远场光斑能量分布...; 夏良平唐乐张为国王乡杜春雷刘文明

一种非球面面形误差拟合方法及装置: 本发明涉及光机集成分析领域，具体涉及一种非球面面形误差拟合方法及装置。该方法及装置首先确定非球面变形后的旋转对称轴；再将镜片网格节点整体转动使变形后的旋转对称轴与理论轴线重合进行非球面倾斜校正；最后计算非球面面形误差，并...; 崔庆龙林冠宇张子辉王清龙

正弦型中频面形误差对光学传递函数的影响: 2024年; 中频面形误差(MSFSE)会导致光学系统发生小角度散射,影响系统性能。为了在光学设计和光学加工中制定合理的中频面形误差公差,就中频面形误差对光学系统调制传递函数(MTF)的影响进行了量化研究。在衍射受限条件下,推导出正弦型中频面形误差对光学系统MTF的影响的表达式并对其进行分析,然后通过光学设计软件仿真验证理论推导结果。假设光学系统光瞳上带有正弦型中频面形误差,对光瞳函数进行傅立叶变换,然后平方得到点扩散函数(PSF),再对PSF进行傅立叶变换得到光学系统的光学传递函数(OTF),对OTF取模,即可得到中频误差影响下的MTF表达式。将该式与衍射受限条件下无中频误差的光学系统MTF进行对比,得到中频误差对光学系统MTF的量化影响。理论计算结果表明:正弦型中频误差会使光学系统的MTF在不同空间频率处产生不同的损失,损失值随空间频率呈周期性变化;峰谷值(PV)分别为0.030μm、0.095μm、0.159μm和0.223μm的中频面形误差,导致的光学系统MTF的最大损失比例分别为0.89%、8.80%、23.48%和43.31%;随着中频误差PV的增加,MTF的损失值呈非线性快速增加。软件仿真结果与理论计算结果吻合。; 陈建军陈建军霍立民匡翠方匡翠方郑驰尹禄; 关键词：光学传递函数自由曲面光学加工光学设计

全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制: 2024年; 全口径环形抛光是加工大口径平面光学元件的关键技术之一,其瓶颈问题是元件面形的高效高精度控制。通过研究元件面形的影响因素及其控制方法从而提升其确定性控制水平。围绕影响面形误差的运动速度、抛光盘表面形状误差和钝化状态等关键工艺因素,建立基于运动轨迹有效弧长的环形抛光运动学模型,揭示了抛光盘表面开槽槽型对面形误差的影响规律;提出了采用位移传感器以螺旋路径扫描抛光盘表面并通过插值算法生成其形状误差的方法,建立基于小工具的子口径修正方法,实现了抛光盘形状误差的在位定量修正;提出抛光盘表面钝化状态的监测方法,研究了抛光盘表面钝化状态对面形误差的影响规律。结果表明:抛光盘表面开槽采用环形槽时元件表面容易产生环带特征,采用径向槽、方形槽和螺旋槽时元件表面较为匀滑;通过在位定量检测和修正抛光盘形状误差,可显著提升元件的面形精度;随着抛光盘表面的逐渐钝化,元件面形逐渐恶化。在研制的5 m直径大口径环形抛光机床上加工800 mm×400 mm×100 mm平面元件的面形PV值优于λ/6(λ=632.8 nm),提升了元件的面形控制效率和精度。; 廖德锋张明壮谢瑞清赵世杰许乔; 关键词：光学加工面形误差控制方法

基于远场光分布测量微透镜面形误差峰谷值的方法: 2024年; 针对传统微透镜面形测试光路复杂和效率不高的问题,提出了一种基于微透镜远场光斑高效提取环带状面形误差峰谷(PV)值的方法。基于几何光学原理,计算了不同环带误差形成的光斑的分界线位置;建立了环带误差的三维模型,通过仿真不同误差模型下的远场光斑,获得了分界线内外光强比值和环带误差值的对应关系;最后利用微纳加工技术制备出不同环带误差的微透镜阵列,搭建测试光路,通过测试获得了不同环带误差下的光斑能量分布,通过模型计算获得的微透镜环带状面形误差PV值与干涉仪测试结果一致。; 唐乐夏良平张满张为国孙昊王春艳党随虎杜春雷; 关键词：光学器件微透镜远场光斑

一种大口径光学镜面面形误差检测的装置: 本发明公开了一种大口径光学镜面面形误差检测的装置，涉及镜面光学检测技术领域，包括方位调节机构以及设置在方位调节机构之上的夹持机构，方位调节机构包括基板、滑动板以及转动板，基板之上设置有滑动板，滑动板之上设置有转动板；基板...; 代瑶瑶刘志国

一种大口径光学镜面面形误差检测的装置: 本发明公开了一种大口径光学镜面面形误差检测的装置，涉及镜面光学检测技术领域，包括方位调节机构以及设置在方位调节机构之上的夹持机构，方位调节机构包括基板、滑动板以及转动板，基板之上设置有滑动板，滑动板之上设置有转动板；基板...; 代瑶瑶刘志国

一种非球面面形误差检测与数据处理方法: 本发明涉及一种非球面面形误差检测与数据处理方法。用以克服现有技术存在的算法复杂且产生误差较大、成本高、检测光路复杂、不具备通用性的问题。具体方法包括以下步骤：步骤一、利用激光干涉仪结合非零位检测法对浅度非球面进行检测，获...; 李世杰张旭梁海锋蔡长龙刘丙才田爱玲刘卫国

一种大口径平面反射镜的面形误差分离装置: 本发明涉及一种大口径平面反射镜的面形误差分离装置，包括：干涉仪、光阑、折转镜、主镜、次镜和平面反射镜，出射标准球面波的干涉仪置于扩束光学系统的焦面位置后方，使出射的球面波通过光阑汇聚于扩束系统的焦面既定点位上；出射球面波...; 李斌陈佳夷王海超王小勇董欣霍腾飞王东杰张志飞姚立强陈西刘君航岳鹏远赵希婷范龙飞徐婧文

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