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一种椭圆波导激光器及其制备方法
本发明属于半导体激光器技术领域,公开一种椭圆波导激光器及其制备方法。该椭圆波导激光器包括激光器本体,所述激光器本体的结构为椭圆波导结构,所述椭圆波导结构的顶面呈椭圆状;所述椭圆波导结构的顶面椭圆状...
孟令海付建波宗华蒋盛翔胡晓东罗郑彪
一种铌酸锂薄膜波导调制器及其制备方法
本发明涉及一种铌酸锂薄膜波导调制器及其制备方法,该方法包括:提供一铌酸锂薄膜晶圆;在薄膜上涂覆光刻胶和导电胶;进行电子束曝光处理,在所述光刻胶中形成金属标记凹槽、第一波导凹槽和第二波导凹槽;显影处理;金属电镀处理,在...
杨志远汪斌李鑫陶艺刘磊郑名扬刘洋谢秀平
一种中红外激光产生装置及差频波导
本申请适用于铌酸锂波导技术领域,涉及一种中红外激光产生装置及差频波导。该中红外激光产生装置包括泵浦光源、信号光源、波分复用器和差频波导,差频波导包括衬底、二氧化硅层、铌酸锂薄膜层以及输入光纤,铌酸锂薄膜层上设...
杨继乾张永康马文博高洋马世超姚权郑名扬谢秀平
波导半导体激光器及其制作方法
本发明公开了一种双波导半导体激光器及其制作方法,其中,第一掩膜层形成于n电极上,第一掩膜层内形成有第一条形窗口;n波导形成于第一条形窗口内;外延结构形成于n波导表面;第二掩膜层形成于外延结构表面,第二掩...
朱建军龚毅杨文献陆书龙华浩文张鹏顾颖黄梦洋
倒装波导半导体激光器的制作方法及半导体激光器
本发明公开了一种倒装波导半导体激光器的制作方法及半导体激光器,制作方法包括:提供衬底,在衬底表面形成掩膜层;刻蚀掩膜层以在掩膜层上制备条形窗口;在条形窗口内依次生长n覆盖层以及n限制层,以形成n波导;在n...
龚毅朱建军杨文献陆书龙华浩文张鹏顾颖黄梦洋
波导半导体激光器偏振与横模关系研究
2024年
基于有效折射率法建立了窄波导数值计算模,通过实验研究了InGaAs量子阱窄波导半导体激光器偏振特性与横模之间的关系。根据理论计算,波导中类TM模式在慢轴方向的有效折射率差更大,类TM模式的限制因子比类TE模式的限制因子更大、更容易出现慢轴高阶模式;而随着波导的高度增加,快轴高阶模式被截断,类TE00模式的限制因子逐渐增加至与类TM00模式相近,慢轴高阶模式因其大的散射损耗被抑制,理论上可实现高偏振度、高光束质量激光输出。在实验方面,利用量子阱材料的增益偏振特性,通过高度与宽度的设计,制备了高偏振度、基横模的窄波导半导体激光器。
宋梁贺钰雯王浩淼周坤杜维川杜维川李弋胡耀张亮高平宽王欣阳高松信高松信
关键词:半导体激光器光束质量偏振度有效折射率法
微米量级薄膜铌酸锂波导中高效非线性频率转换(特邀)
2024年
铌酸锂基集成光子学在过去几十年里一直备受关注,近年来薄膜铌酸锂的出现更是极大地推动了该领域的发展。本文利用紫外光刻和干法刻蚀技术在3μm厚的薄膜铌酸锂上制备了微米波导(横截面为2.6μm×3μm),光纤波导耦合损耗仅1.2 dB/facet。周期极化薄膜铌酸锂微米波导在通信波段下实现了高效的二次谐波(倍频)产生,归一化转换效率达到164%W^(-1)·cm^(-2),并在1 W基频光输入条件下展现出57%的高效的绝对频率转换。同时,该微米波导还可实现高效的和频转换,在300 mW泵浦光下的小信号和频上转换效率为139%。优秀的频率转换性能、可规模化制备以及良好的光纤兼容性使微米量级薄膜铌酸锂展现出巨大的吸引力,未来有望发展更多的多功能器件并推动集成光子学的基础研究和光量子信息的应用发展。
丁文君张玉婷仇晶唐永志张景丁婷婷黎浩刘时杰郑远林陈险峰
关键词:非线性光学周期极化铌酸锂准相位匹配
一种基于波导的混合等离子体波导结构
本发明公开了一种基于波导的混合等离子体波导结构,属于纳米光子学技术领域,能够解决现有等离子体波导存在传输损耗大,传播距离较短的问题。所述波导结构包括:衬底;波导,设置在衬底上,其折射率大于衬底的折射率;间隔层,设...
马首道掌蕴东范东明陈发强郝阳李佳欣靳婷王斌宋佳奇
一种铌酸锂薄膜波导调制器及其制备方法
本发明涉及一种铌酸锂薄膜波导调制器及其制备方法,该方法包括:提供一铌酸锂薄膜晶圆;在薄膜上涂覆光刻胶和导电胶;进行电子束曝光处理,在所述光刻胶中形成金属标记凹槽、第一波导凹槽和第二波导凹槽;显影处理;金属电镀处理,在...
杨志远汪斌李鑫陶艺刘磊郑名扬刘洋谢秀平
基于氮化硅波导的嵌入石墨烯光探测器及制作方法
本发明涉及一种基于氮化硅波导的嵌入石墨烯光探测器及制作方法,其中,光探测器包括:衬底、隔离层和光探测结构;隔离层的材料为氧化硅;光探测结构包括波导、石墨烯层和叉指电极结构;波导的材料为氮化硅;波导包括基...
邹望辉莫嘉豪武俞刚王淳风

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陈险峰
作品数:154被引量:122H指数:7
供职机构:上海交通大学
研究主题:非线性光学 铌酸锂 周期性极化铌酸锂 倍频 准相位匹配
王圩
作品数:368被引量:193H指数:7
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:激光器 分布反馈激光器 电吸收调制器 硅基 单片集成
郑远林
作品数:27被引量:2H指数:1
供职机构:上海交通大学
研究主题:脊型波导 非线性晶体 铌酸锂 光通信领域 铌酸锂晶体
梁松
作品数:156被引量:27H指数:4
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:激光器 波导 半导体激光器 光栅 盖层
赵玲娟
作品数:202被引量:123H指数:6
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:单片集成 激光器 分布反馈激光器 电吸收调制器 半导体激光器