搜索到 篇“ 电容式加速度传感器 “的相关文章

相关作者

王跃林
作品数：723被引量：799H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
车录锋
作品数：159被引量：309H指数：11
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 加速度计
熊斌
作品数：218被引量：197H指数：7
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
周晓峰
作品数：29被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 加速度传感器 侧向冲击 过载
王大宇
作品数：55被引量：27H指数：2
供职机构：中国电子科技集团第五十四研究所
研究主题：电容式加速度传感器 水声通信 微机电系统技术 水声 水听器