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一种金属换能器的制备方法、滤波器和谐振器
本申请提供一种金属换能器的制备方法、滤波器和谐振器,该谐振器包括第一金属换能器、镂空区域和第二金属换能器,第一金属换能器和第二金属换能器均包括压电层、设置在压电层下方的牺牲层和设置在牺牲层下方的支撑层...
欧阳天虹
一种全方位宽频带柔性介电弹性换能器及制作方法
本发明提供了一种全方位宽频带柔性介电弹性换能器及制作方法,包括柔性DE基底,为圆盘状;柔顺环形电极,设置于柔性DE基底的表面,柔顺环形电极包括:正极电极和负极电极,正极电极与负极电极呈相互嵌套...
王自平骆英徐晨光袁福国许伯强蒋政轩
一种换能器、声表面波谐振器和装置
本发明公开了一种换能器、声表面波谐振器和装置,涉及射频滤波技术领域,其中谐振器包括:压电基底和设于该压电基底工作面上的导电材料薄膜图形,调节导电材料薄膜图形中的换能器以形成标准声速区、与标准声速区相比传播弹性波的...
李祥振傅肃磊俞振一王为标刘平
换能器及其制备方法、声表面滤波器
本发明适用于无线通讯技术领域,尤其涉及一种换能器及其制备方法、声表面滤波器。包括以下步骤:对晶圆进行两次均胶和两次坚膜处理、进行曝光处理、旋涂显影液、镀膜处理、对光刻胶进行剥离,得到换能器。与现有技术相比,本发明...
李帅张磊周温涵郭嘉帅
超细线宽电极及其制备方法、换能器
本申请涉及通信器件技术领域,尤其涉及一种超细线宽电极及其制备方法、换能器,超细线宽电极的制备方法包括以下步骤:提供压电衬底,在压电衬底上制作第一光刻胶层;对第一光刻胶层曝光显影,形成多个间隔的胶条;沉积包裹胶...
赵淄红
换能器参数确定方法、装置、设备及声表面波滤波器
本发明涉及滤波器技术领域,提供一种换能器参数确定方法、装置、设备及声表面波滤波器,该方法包括:获取声表面波滤波器的目标频率响应,并基于建立的目标坐标系对目标频率响应进行数值转化,得到对应的目标数值关系;对该目标数值关...
陈晓阳王永安叶志王宇孟腾飞高黄杰周培根范佰杰
一种基于飞秒激光加工掩膜制备声波器件换能器的系统及方法
本发明公开了一种基于飞秒激光加工掩膜制备声波器件换能器的系统及方法,该方法利用聚焦飞秒激光在金属薄膜上直写出换能器掩膜,然后将掩膜置于压电衬底上蒸镀金属,最后移除掩膜获得换能器结构。本发明相比于传统微电子光刻...
仇旻王勇耿娇张磊刘峰江孙潇雨石理平
一种趾加权换能器及制备方法
本发明涉及一种趾加权换能器及制备方法:在压电基片为127.8°YX型铌酸锂(LiNbO<Sub>3</Sub>)的表面,采用旋涂光刻胶并前烘;采用掩膜进行UV曝光,显影,去胶后烘5min;利用磁控溅射工艺制备纯度为9...
江佳阳廖汉江袁斌余福川官俊伟董旺霖薛倾宇
换能器加权方法、装置、换能器及声表滤波器
本发明公开了一种换能器加权方法,包括:对换能器进行切趾加权,得到切趾加权换能器;当所述切趾加权换能器条长度满足预设激活条件时,按照预设加权规则和预设停止条件,对所述切趾加权换能器进行自适应抽加权,得到至少一...
王永安陈晓阳宋燕陈浩陈长娥苗峰维曹玉范佰杰
换能器条参数确定方法、装置、设备及滤波器
本发明涉及滤波器技术领域,提供一种换能器条参数确定方法、装置、设备及滤波器,该方法包括:获取声表面波滤波器的目标时域信号,根据目标时域信号对声表面波滤波器的换能器进行变迹加权,得到变迹换能器;以变迹换...
陈晓阳王永安叶志王宇孟腾飞高黄杰周培根范佰杰

相关作者

章安良
作品数:112被引量:74H指数:4
供职机构:常州工学院
研究主题:声表面波 压电基片 叉指换能器 数字微流体 工作表面
何世堂
作品数:298被引量:140H指数:6
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:声表面波 压电基片 声表面波滤波器 气相色谱仪 气体传感器
陈智军
作品数:128被引量:252H指数:7
供职机构:南京航空航天大学自动化学院
研究主题:声表面波 声表面波标签 阅读器 叉指换能器 传感
牟笑静
作品数:83被引量:52H指数:3
供职机构:重庆大学
研究主题:叉指换能器 谐振器 压电薄膜 声表面波 传感器芯片
李新波
作品数:224被引量:92H指数:6
供职机构:吉林大学
研究主题:压电振子 声表面波 压电 压电驱动 压电泵